作者：茜茜大可耐
这可是参与过两弹一星、载人航天、航母工程等多项国家重大工程的研究所。
冰城工业大学就更加不用多说，一个具有自己发射卫星、甚至具有核打击能力的大学，就这一点：足以说明它的地位！
据马院士所知，冰城工业大学早些年，涉及到国家一个重要科学课题，在光学领域有极深的研究。
第110章 冰城工业大学012号课题！（1更）
“我查到冰城工业大学从4157年（耶稣历2000年）到去年为止，在光源上提交了上千项专利申请……”
冰城工业大学从4157年开始的就有进行极紫外光源的相关研究，并申请了一些专利。
只不过那时候，谁知道相关研究的重要性？
4157年之后，冰城工业大学和国家开启了一个课题，一直到去年……累计提交了上千份关于光源、极紫外光源的专利申请，获批的专利也有很多。
不少专利都有很大的作用！
只不过距离要用在光刻机上，还差了整整一代！
相差了20多年！
当然，这20多年是当初光刻机技术被卡了20多年，那是从零到一的探索。
现在捡起来研究，也不会被卡20多年。
冰城工业大学的课题到了后面两年，似乎已经快要结束，并没有继续的意思。
李浩查不到具体课题研究什么，但是从专利的申请时间和数量来看，后面两年专利申请明显降低。
更大可能不是不想研究……而是很难去研究。
到了这个时候，国外的研究机构，都已经将极紫外光源的专利注册了。
所以专利申请的数量降低，该课题也可能要结束了。
投入和收获不成正比。
冰城工业大学，说白了，它是一所大学，教书育人、每年的科研经费有限、要研究的项目和课题太多了。
投入几十亿？几百亿去研究光源？
学校不用开办？
学生还要不要教了？
那么多教授、那么多专家、院士，其他课题不需要资金？
即便是一家企业，也不敢说投入几十亿、上百亿的资金去研究光源。
关键……这个投入，还不一定会出研究成果。
马院士听李浩说冰城工业大学4157年开始在研究极紫外光源，他脑海中有这个印象：“是012号课题，似乎是去年结束吧？”
“具体情况不清楚，我帮你问问就行，刚好咱们船上有一位王院士就，他是冰城工业大学的博导、长光所前任所长和馆长！！”
“谢谢马院士！”
李浩理解道谢。
马院士笑着摆手：“别说谢不谢的，这都是小事情，你为我们项目带来的帮助足够大。”
“研究半导体芯片、光刻机，我也知道很难，你自己知道很难还是要去研究……就冲着这个，我也会帮你！”
“王院士是一个很好的人，长光所当初也有研究光刻机，只不过……”
“唉，我帮你找他说说，他知道你要投入光刻机的研究，肯定会支持你的！”
“那就麻烦您了！”
……
新年过后，李浩见到了冰城工业大学、航天动力技术部的博导，前任长光所所长和馆长——王琪海院士。
王其海院士新年就回来了，投入到003号船的动力系统的研究中。
希望早日看到003船完工下水，积累足够的技术经验，等004号航母用上更好的技术！
要知道，王院士已经79岁，马上就80岁了，还奋斗在研究中，当真让人汗颜，更让人敬佩。
“这位是王院士！”
“王老，这是我跟你说的小浩，一个很有本事和抱负的年轻人！”
马院士相互坐了介绍。
近60岁的马院士，在王院士面前就显得年轻很多，也要尊称一声：王老。
“马院士夸赞了。”李浩很谦虚，尊敬地向王院士问好：“王院士，您好，我是李浩。”
“我听说过你，非常了不起，有你和你的团队加入，弹射技术进展很快，咱们003号已经正式确定列装该功能了！”
王院士这个级别，还是负责003号最核心的动力系统，负责让航母动起来，为整个航母提供能量。
整个航母的电力系统，都是李浩这边的电控系统来管理，研究项目相互之间是有交叉的地方。
当然知道李浩和他的团队很厉害。
李浩谦虚道：“哪里，都是大家的功劳。”
大家闲聊了一番，随后也正式进入主题。
王院士说道：“听马院士说，你接手了鸿芯？投入大笔资金研究光刻机？目前研究到哪里了？”
光刻机有多难？
王院士当初可是长光所所长、馆长，如今已经退休了。
像这样的国宝级人才，退休也是返聘。
老人家也不让自己停下来休息，选择继续在一线折腾。
当初长光所放弃光刻机的研究，就知道这方面的封锁有多难。
李浩也知道，这是王院士对他的考验。
或者说，想知道浩鼎实验室有多少技术？
光刻机方面的研究，不是靠投入资金就能解决的。
资金仅仅是最基本的东西！
最重要的核心技术、人才、时间……最后才是资金。
“液压技术方面，我们已经有了突破……我们在精密仪器、高精度加工设备上也有研究。”
“橡胶材料方面的技术也已经取得突破。”
“核心透镜我们已经解决了！”
“曝光技术、校准技术、掩膜等方面的技术都已经有实质性的突破。”
“下游的光刻胶、光刻机气体等技术和材料都有突破！”
“目前，我主要研究方向是光源……”
李浩使用「研发中心」研发出5nm光刻机，之前还研究过车载芯片。
关于光刻机和芯片方面的专业知识、技术难题等等。
他知道得一清二楚。
是不是有真本事？
是不是真的有技术突破？
他和王琪海院士聊一聊就知道。
王琪海院士不是专业研究光刻机的，但他对光学工程方面还是相当了解的。
像王琪海院士这一代的人，人家专注的研究领域可不是某一个领域，在多个领域都算得上大牛！
非常厉害！
像双工作台、多重曝光技术这些，国内就有研究和突破。
李浩这边就更加成熟。
其实，委托齐勇从欧洲买来的32nm光刻机，使用的是DUV光源。
较比阿斯麦目前最新的EUV光刻机，光源波长比较长。
EUV光源可以做到10-15nm，光刻机起步就能做到7nm制程工艺到微米级别。
DUV最多就是28nm的制程工艺，通过多重曝光技术，也可以做到7nm工艺，这已经是极限了。
国内有研究团队说能做到7nm工艺，就是DUV技术使用多重曝光技术。
只是相关技术……还是在实验室里。
理论上的！
量产光刻机……根本造不出来！
多重曝光技术也很好理解：原本光刻机将芯片的电路图纸直接光刻到芯片上，光源比较粗，制程工艺有限制。
多重曝光技术，将原本芯片上的图纸，拆分成多份，分别进行光刻，然后再组合起来，形成一个完整的电路图。
这样做，能让DUV光刻机理论上也能加工7nm芯片，但这也是极限了。
5nm是不可能的。
即便使用多重曝光技术拆分电路图，光源还是太粗，组合成一张电路图的时候，还是会出错。
这就需要EUV光源，它的波长更短，这个‘光’是一把更精致的刻刀，能雕刻更细微的电路图。
第111章 牵线搭桥，微服私访？（2更）
“听你这么说，是对集成电路领域是做足了充分准备的……”
“还以为你只是一时脑热，满腔热血的进入这个领域。”
王琪海院士听李浩说了这么多，知道这个年轻人并非一时脑热就去研究光刻机。
从技术储备方面来看，这个年轻人的团队在下游芯片设计，甚至芯片材料方面都有做技术储备。
“你准备如何解决光源的问题？”
王琪海院士又向李浩介绍长光所以及冰城工业大学，目前在极紫外光源方面的研究成果。
“冰城工业大学在国家012号课题上，进行关于光学领域的研究……极紫外光的研究只是其中一个分类。”
“这个课题在去年已经结束了……到了后期，相关的研究已经没有太大的进展，研发投入和收获不成正比。”
“冰城工业大学的Euv光源技术，是基于Xe气毛细管放电技术。”
“属于早期一种DPP光源技术，达不到制作EUV光刻机的要求！”
“长光所在Xe等离子体Euv光源研究上，主要研究方向也是各种短波长激光器，并非在Euv光源上。”
“国内各大高校和研究所，在EUV光源的研究上，大概相当于国外1998年的水平！”
王琪海院士可是主管长光所，如今也是冰城工业大学的博导，对这两方面都十分了解。
李浩表示：“在浩鼎实验室，已经制作出一台频率为1000kHz的等离子体极紫外光原机的设备……”
“收集系统采用Wolte——X型反射镜结构，以掠入射方式，将管内发出的13.5nm的极紫外光源聚焦到IF点……在重复频率为1 kHz时，2π立体角内13.5 nm 辐射光功率约为1.4 W ，经估算 IF 点的功率约100 mW 。”
“目前能做到13.5nm的放电Xe等离子体极紫外光源！”
“很了不起！”王琪海院士毫不吝啬地称赞，他想了想，说到：“这相当于国外零几年的技术吧！”
“从Duv光源到EUV光源，国外光刻机巨头被卡了那么多年……我们现在不需要摸着石头过河，只需要摸着他们过河就行！”
李浩这边在光源方面，能有这样的研究进展，确实投入很大的精力。
连光源设备的样机都造出来了！
加上李浩之前所说的各种技术储备。
浩鼎实验室在光刻机领域的研究，还真是不可小觑。
王琪海院士觉得，怎么都要帮这个年轻人一把。
这个年轻人怀着满腔热血接手了鸿芯，投入了大量的资金和精力，要研究光刻机和芯片。
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