“累计曝光时长，七分十二秒。”很快，他的助手报出的数据，就把他从惆怅中拽了回来。
“我知道了。”他淡淡的回了一句。
七分十二秒。
仅仅七分钟的EUV曝光作业，这枚造价数万美金，经过数十道精密工艺打磨的掩模，就已经报废了。
在DUV的光刻体系里，一枚合格的光刻掩模，需要支撑数十万次甚至数百万次的持续曝光，能够耐受长时间高能光线照射，保持图案精度的稳定。
而他们现在制作的EUV掩模，连十分钟的稳定工作都无法实现。
“我们一共尝试了三种镀膜方案，两种基底改性工艺，效果都不是很好。”另一边，专门负责反射式掩膜研发的研究员出声说道。
“无论是增加膜层厚度、调整钼硅配比，还是表面抗氧化处理，目前来看，都无法抵御高能光子的持续轰击。”
罗伯特点点头，没有意外。
如果这么好成功，也不至于从EUV光刻理论提出到现在，已经13年了，几乎还在原地踏步。
现在的SVG，其实已经取得了巨大的成功。
“原理通了，架构通了，就是扛不住量产的损耗，但不管怎么样，至少我们证明了，这条路是通的。”
“光学污染那边传来好消息了？”对方惊喜的高呼了一声。
贝尔实验室那边对光源的理论验证成功他是知道的，现在他负责的反射式掩膜，虽然距离商用标准还有十万八千里，可也验证了用反射式掩膜完成光刻成像的可能性。
那么三大难题中，就只剩下一个难题还没有验证过来，就是SVG和贝尔实验室同步进行的光学污染研究问题。
甚至这个问题，比其他两个问题更加的无解。
DUV光刻可以在低真空，常规无尘环境下稳定工作，轻微的杂质和气流扰动，对成像精度的影响微乎其微。
但EUV不行，它的光子敏感度达到了极致，任何微小的杂质、气体分子、微粒残留，都会被吸收、散射、折射极紫外的光子，造成成像的畸变。
问题的关键是，只要设备开机运行，就一定会产生微量溅射物，很多人这么多年质疑EUV，觉得EUV光刻机不现实，就是认为真空腔体无法做到绝对的零杂质。
“不能说完全成功吧，但至少已经有所突破了。”罗伯特嘴角不免的勾起笑了起来，继续说道“我们的真空维持系统，已经能够做到连续运行二十四小时无明显光学污染的程度了。”
马里布，恩斯特得知这个消息的时候，正带着凯丝巡视着这栋未来加菲尔德家族的住宅。
住宅前的喷泉广场上，海风裹挟着太平洋的湿气，拂过整片纯白色的现代建筑群，向西眺望，湛蓝的海面波光粼粼。
想一想以后每天早晨起来，面对的就是这番海天一线，景致开阔的景色，倒是惬意。
现场的负责人告诉他，如果快的话，今年暑期过后，他们一家人就能够搬入这个新家了。
慢的话，今年的圣诞节，他们全家也可能在这里度过。
“也就是说，虽然距离工业量产还有着巨大的鸿沟，不知道什么时候能够实现，光源功率、掩模寿命、光学污染这三大难题短期内还是无法解决，但至少我们完整证明了，EUV原理的可行性，是吧？”
恩斯特低头，对着手机听筒轻声确认道。
“没错。”电话另一头，卡尔·韦勒的声音传来“整套技术的理论闭环已经彻底打通了，所有的核心架构和核心原理都经过了反复验证，没有任何的漏洞。”
“等于我们已经找到了准确的路线，接下来，就是按照这个路线坚定的走下去，从理论验证向工程产业化继续突破就可以了。”
卡尔·韦勒顿了顿，短暂的沉默后，再度开口建议道“如果有可能，我觉得还是加入LLC联盟比较好。”
“它们研发EUV的相关技术已经超过了五年，积累的实验数据相当丰富，也一定有我们目前需要的技术储备。”
恩斯特沉默着抬眼望向远方的海面，他何尝不知道加入LLC联盟的巨大利好呢？
可问题是，现实的情况不允许他就这么上杆子的加入呀。
“英特尔才是LLC的绝对核心与老大，阿斯麦才是它们会全程扶持的专属光刻机企业。”
“我们想要加入进去，你觉得，我们能分到多少话语权？核心技术的主导权，会落到我们手里吗？”
“而且就算我们加入了进去，你觉得会付出什么代价？”
“是放弃自主研发的主导权，是共享我们现在所有的核心实验数据，还是是任由他们绑定我们的技术路线？”
卡尔·韦勒不回话了，这不是他应该考虑的事情。
他是纯粹的技术人才，他的职责是技术上的突破和实验攻坚，对于商业博弈，行业话语权的争夺，甚至是阵营较量，那不在他的思考范围之内。
“不过，现在我们有了这样的突破，倒是可以以此来合作一下，不是吗？”
“至少我们现阶段的技术进度，确实走在了LLC联盟的前面，手握着独家的原理验证数据，有足够的筹码和他们谈判。”恩斯特笑着说道。
本来还想要继续深聊几句，不过在凯丝的催促下，他还是挂断了电话。
“我在和你韦勒叔叔通电话，你也不消停一些，真是个小磨人精。”恩斯特刮了刮她的小鼻头，一脸的宠爱。
“小磨人精才好呀，杰西卡说，小磨人精才会有人疼。”凯丝估计都不知道小磨人精是什么意思，但还是奶声奶气的回答着。
“别听她的，她可没告诉你，小磨人精每天晚上可是都要被打屁股的。”
“啊~”
凯丝瞬间瞪大了眼睛，小嘴微微张开，发出一声软糯的惊呼。
两只小手下意识地紧紧捂住自己的小屁股，，可爱得让人忍俊不禁。
别说美国人不打孩子，那都是快乐教育才会出现的情况，精英教育，小的时候还是可能揍两下的，只是没有那么狠。
就比如凯丝，上次她将妮可·基德曼的女仆装给约书亚穿上，就体验了人生第一次的竹板炒肉，哭的稀里哗啦的，现在听到打屁股都有应激反应呢。
“那我还是不要当小磨人精了！”小家伙用力的摇摇头，小脑袋摇得和拨浪鼓一样“我才不要每晚都被打屁股！”
恩斯特哈哈大笑着弯腰将她抱了起来，低头蹭了蹭她的发顶“走，我们去挑选种圣诞树的区域。”
这是恩斯特刚才听取现场负责人的汇报，说最晚入住也不会超过圣诞节时，凯丝听到圣诞节几个字，就吵着要种一颗圣诞树。
不过洛杉矶这个地方，虽然能够种植圣诞树，可经典的道格拉斯冷杉和最高端的银尖冷杉都种植不了。
前者大面积存活在北加州山区，洛杉矶平地太热了，基本很难养好。
而银尖冷杉这种树形最漂亮，针叶留香，深受加州本地富豪喜欢的高端圣诞树，更是只能长在内华达山脉上。
所以想要在马里布这边种植圣诞树，只能选用蒙特雷松这种几十年前加州圣诞树的主力品种。
他的好处是长的快，树形饱满，而缺点就是到了干旱季节，那针叶掉的和葛优一样。
凯丝搂住恩斯特的脖子，听到这话，瞬间一扫刚才的紧张，眼睛亮晶晶的拍手说道“我要大大的圣诞树！可以挂满彩灯和所有礼物的那种！”
所有礼物？
那估计一颗圣诞树可办不到。
第1054章 风起云涌
3月7日，一则震动全球消费电子行业的诉讼新闻，引爆了整个西方的舆论场。
加州本土一个名叫消费者权益律师团的组织，正式代理了加州消费者发起的一桩超大规模的集体诉讼，直接将八家全球顶尖手机品牌尽数送上了被告席。
其中包括了统治全球手机市场的绝对霸主诺基亚，通信领域老牌巨头爱立信和工业科技标杆西门子等，无一例外，都是非美国本土的品牌。
加州中级法院在收到诉讼材料后，宣布正式受理本案，敲定的首次公开听证时间是十二天后。
到时候，八家被告的手机品牌，都要派人出庭应诉，接受质询与消费者代表的问责。
不过没有人觉得意外，之所以轰动，是因为所有人都心知肚明，这不是什么消费者维权的集体诉讼，本质也脱离了简单的商业维权范畴。
这是欧美手机厂商之间博弈的全面升级，是一场披着司法外衣的宣传战，是行业洗牌战的一部分。
不过要说最难受最憋屈的，还是摩托罗拉。
作为美国本土手机行业的龙头、曾经的全球通信霸主，在全美媒体舆论已经提前铺好基调的情况下，摩托罗拉没有选择。
哪怕是稍有迟疑，都可能会被舆论扣上背弃本土产业，纵容外来资本掠夺美国市场的帽子。
所以摩托罗拉只能站队纳科，站队北美本土阵营，哪怕它自己不想参与进纳科和诺基亚的这场博弈，也知道自己下场绝对没有在一旁看戏的收益大，也只能硬着头皮往前冲。
就在全美都在讨论手机行业风云再起的时候，贝尔实验室与SVG公司联合发布了一份里程碑式的技术白皮书，正式向全球半导体行业官宣，极紫外光刻技术物理原理完全可行，具备突破传统光刻极限的绝对潜力。
这份白皮书，虽然在大众视野里没有得到多少关注，却在行业内，震动了整个硅谷，乃至全球半导体产业。
别看白皮书的末尾，还是给整个行业泼了一盆冷水，表示现有技术体系下，EUV光源功率无法支撑工业量产效率，而反射式掩模寿命损耗过快，也代表着量产成本无法控制等难题。
可至少验证了极紫外的可行性，在这条路上终于突破了理论验证。
只要路找到了，完成了0到1的跨越，那么1到100的进程，是很快的，剩下的所有难题，都只是时间、资金、工艺、材料层面的问题
“这个光线很重要吗？”
马里布别墅，杰西卡·阿尔芭蜷坐在沙发上，有些无聊的看着电视上的新闻。
家里的女人，工作的工作，没有工作的，今早都带着孩子去了惠特尼农场，就留下了一个她自己。
至于她为什么没去，那是因为她要回家，给她父亲过生日。
相比于贝尔实验室和SVG发布的学术报告，她倒是对于纳科大战诺基亚的手机大战更感兴趣，毕竟那是诺基亚，霸主的地位深入人心，哪怕是向来骄傲的美国人，也不得不承认，现在的诺基亚，才是当之无愧的全球手机行业主导者。
可她不明白，这么大个事情，恩斯特不关心，反而对于那个贝尔实验室发表的什么极紫外光的新闻很在乎，甚至嘴角都不自觉的勾了起来。
“很重要。”恩斯特回了一句，不过他更感兴趣的是，这个LLC联盟，会不会因为这篇报道，在内部出现瓦解。
其实他之前一直都不明白，为什么这个美国人主导的LLC联盟，不拉拢美国内部的光刻机企业，反而联盟内唯一的光刻机企业来自于欧洲。
而且阿斯麦加入的时候，还是一个飞利浦旗下小的不能再小，根本就不受重视，就连办公地点都在飞利浦集团最边缘位置的存在。
难道这个LLC联盟成立的初衷，不是扶持美国光刻机领域，打败日本吗？怎么好像变成了帮助欧洲的光刻机企业打败日本呢？
五年前，现在的光刻机领域还没有阿斯麦什么事呢，虽然也算是百花齐放吧，但都是小玩家，真正的现实就是尼康和佳能的两强争霸。
为了对抗尼康和佳能为代表的日本光刻机产业，美利坚这边就再次耍起了不要脸，将冷战的那一套又拿了出来。
在英特尔等厂商的游说下，国会山进行了背书，于1997年由美国能源部主导牵头成立了这个LLC联盟，以英特尔为代表，联合IBM、摩托罗拉、AMD，外加劳伦斯利弗莫尔、桑迪亚、伯克利这三大美国国家实验室，准备共同攻克新一代光刻机技术。
也正是因为如此，所以才有了二十年后，美国政府对华夏一系列的半导体出口管制的事情。
因为整个EUV，美国的这三大国家实验室，是分到了相关技术专利的，换句话说，美国政府都不需要动用行政命令，通过这些核心专利，就可以卡住整个EUV光刻机的生产脖子。
不光如此，这也彻底的将日本半导体产业，推向了继续向DUV深耕的步伐。
其实这东西没有什么绝对，只是后来EUV成功了，统治了市场，但并不代表DUV的路线就不能走下去。
不过有时候狗命如此，美国人再次获得了气运加持。
而阿斯麦能够从荷兰的小仓库起步，成为全球光刻机跟半导体行业的扛把子，最大的功臣可不是什么台积电林本坚的沉浸式光刻技术，而是LLC联盟。
正是因为1999年阿斯麦加入了LLC，拿到了无数的资源、技术和好处，才有了这两年快速崛起的底气。
LLC联盟可不光是给阿斯麦提供各种最先进的技术，帮助阿斯麦解决各种难题，还帮阿斯麦协调了一大批的美国光刻产业的供应商，几乎是将饭给喂到了嘴里，换谁都能一步登天。
以前恩斯特不明白这个LLC联盟为什么要扶持阿斯麦，现在他明白了，因为阿斯麦把自己卖的更彻底，几乎就是在给美国人白打工。
英特尔等公司获得的阿斯麦股权先不说，阿斯麦还保证在美国建立研发制造基地，并且所有设备零部件的采购，来自美国供应商的采购份额不会低于55%。
等于从一开始，这个由LLC喂起来的阿斯麦，就已经被套上了狗链。
阿斯麦不管是关键的技术还是零部件，都离不开美国的厂商，所以这家荷兰企业在后来听美国这个干爹的话比听荷兰这个亲爹的话都要忠诚。
而且很多人可能不知道，其实真正掌控EUV光刻机核心技术的是英特尔，只是它现在将所有的精力都放在了造芯片上了，并没有进入光刻机制造领域，这才扶持起了阿斯麦。
EUV LLC联盟是英特尔牵头拉起来的，整个联盟总投入约2.5亿美元，英特尔承担了其中绝大部分的资金，其余的AMD、摩托罗拉、IBM只是小份额参与者，95%的出资都是由英特尔来完成的。
所以资金就是最大的话语权，从这个项目立项，到研发方向、资源分配、设备采购，全部都由出资方英特尔来拍板，其他会员只是跟着投入少量经费，共享成果罢了。
整个LLC联盟产出的关于EUV的核心专利超过150项，在后来LLC解散的时候，英特尔拿走了其中120多项。
而AMD、摩托罗拉等，只获得了少量专利和非独占授权，阿斯麦更是只能拿到限定范围的技术许可。
至于为什么如此，其他厂家为什么不投入，还是因为现在对于光刻机的要求，只有英特尔一家真的需要。
AMD的CPU和英特尔有差距，对于70纳米及以下节点的需求不是很迫切，而摩托罗拉和IBM就更别说了，不管是手机芯片还是服务器，现在使用的制程都是成熟制程，而不是最先进的制程。
只有英特尔，需要更好的光刻技术，来扩大它在CPU上的领先优势。
以现在临界半导体的体量和影响力来说，是完全可以申请加入这个LLC联盟的，但就像恩斯特回答卡尔·韦勒时说的，英特尔是绝对会对临界半导体围追堵截的，也不可能让自己对这个联盟的话语权旁落。
答应临界半导体加入没有问题，但开出的条件，肯定是恩斯特不能接受的。
既然如此，那咱们就各玩各的。
但彼此间的合作吗，他是愿意看到的。
今天的这份贝尔实验室联合SVG发布的白皮书，就是在投石问路。
也像他所想的那样，消息很快就传到了英特尔的耳朵里，甚至还引发了美国能源部的关注。
主要是现在美国的半导体产业，确实面临着日系厂商的强势冲击，日渐凋零。
这主要就是因为半导体核心的光刻机，美国人失去了市场。
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